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       真空腔體是保持里面為真空狀態(tài)的容器，它的加工要考慮容積、材質(zhì)和形狀。

 

       高真空系統(tǒng)主要采用不銹鋼材質(zhì)。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%～20%的低碳鋼，具有優(yōu)良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導電率、放氣率低和導熱率低、能夠在-270～900℃工作等優(yōu)點，在高真空和高真空系統(tǒng)中，應用較廣。

 

       為了減小腔體的內(nèi)壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。系統(tǒng)的腔體，月多的是利用電解拋光來進行表面處理。

 

       焊接是真空腔體制作中很重要的環(huán)節(jié)之一。通常采用氬弧焊來完成焊接，以免空氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)生了化學反，應而影響焊接質(zhì)量，氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電端周圍噴撒保護氣體氬氣，以免熔化后的高溫金屬發(fā)生氧化反應。腔體的氬弧焊接，原則上定要采用內(nèi)焊，即焊接面是在真空一側(cè)，以免存在死角而發(fā)生虛漏。但是，對于方形腔體，側(cè)面的平板上要承受上噸的壓力，定要通過增加壁厚或設置加強筋，才能以免其變形。