真空擴散泵機組的閥門在使用過程中往往會出現一些讓人困擾的問題，比如說閥門關不嚴、關不緊，那該怎么辦？
應該先找出問題出現在哪里，然后根據相應的方法去解決處理。一般閥門關不嚴的原因有以下幾種：
（1）有雜質卡在密封面，雜物沉積在閥門底處或墊在閥瓣與閥座之間；真空閥門有時突然關不嚴，可能是閥門密封面間有雜質卡住，此時不應用力強行關閉，應把閥門稍開大一些，然后再試圖關閉，反復試試，一般就可排出，否則應進行檢查，應保持介質的質量潔凈。
（2）閥桿螺紋生銹，閥門無法轉動；真空閥門對于通常在開啟狀態的閥門，偶然關閉時，由于閥桿螺紋已經生銹，也會發生關不嚴的情況。對于這種情況，可反復開關幾次閥門，同時用小錘敲擊閥體底部，即能將閥門關嚴，對閥門進行研磨修理。
（3）閥門密封面被破壞，導致介質出現泄漏；對于多次開關仍舊關不緊的情況，那就是密封面已損壞了，介質帶有腐蝕或者顆粒都會給密封帶來損壞，需要定期換。
（4）閥桿與閥瓣連接不好，使閥瓣與閥座偏斜不能嚴密接觸。
未有脫脂處理的設備需要經常給閥桿和閥桿螺母加潤滑油，以讓閥門的開關靈活。
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